Thông tin chính:

• Công thức: BCl₃

• Trạng thái: khí, không màu

• Mùi: hắc, gây kích ứng

• Tính chất: khí ăn mòn, phản ứng mạnh với nước

• Tỷ trọng: nặng hơn không khí

Ứng dụng:

• Etching nhôm (Al) trong semiconductor

• Plasma etching

• Sản xuất linh kiện bán dẫn

Phản ứng nguy hiểm:

• BCl₃ + H₂O → tạo HCl (axit mạnh) và khí độc

Lưu ý an toàn:

• Khí độc, ăn mòn cao

• Phải dùng trong hệ thống chân không kín

• Tránh tiếp xúc với không khí ẩm