Al₂O₃ (Aluminum Oxide / Nhôm oxit)
Thông tin chính:
-
Công thức: Al₂O₃
-
Mật độ: ~3.95 g/cm³
-
Hằng số điện môi: ~9
-
Nhiệt độ nóng chảy: ~2072°C
-
Tính chất: cách điện rất tốt, bền nhiệt, chống ăn mòn cao
Ứng dụng:
-
Lớp cách điện trong chip bán dẫn
-
Lớp phủ bảo vệ wafer
-
Sputtering target
-
Optical coating