SiO₂ (Silicon Dioxide) là vật liệu cách điện quan trọng nhất trong bán dẫn.

Thông tin chính:

• Công thức: SiO₂

• Chức năng: lớp cách điện trong chip

• Hằng số điện môi: ~3.9

• Mật độ: ~2.2 g/cm³

• Bandgap: ~9 eV

• Chịu điện áp: ~10 MV/cm

Ứng dụng trong bán dẫn:

• Cách điện giữa các lớp kim loại

• Lớp gate oxide trong transistor

• Lớp bảo vệ chip

• Lớp cách ly giữa các vùng silicon

Trong coating / sputtering:

• Dùng làm lớp cách điện hoặc lớp phủ bảo vệ